自组装表面失稳结构复杂应力加载装置
知识产权简介
一种兼容于超景深光学显微镜的亚微米空间分辨率三维触控力加载装置，包括：轴向加压夹具、压头、全自动三轴位移平台。轴向加压夹具底面和z轴位移台可固定于同一平面，三轴位移平台的精度可根据传感器要求选择合适精度的位移台以达到传感器的测试精度要求,光学显微镜可与装置置于同一平台，镜头调整至底板矩形开口上方进行拍摄，通过调节z轴位移台即可实现应力的加载。
转化前景
本专利对应产品为兼容于超景深光学显微镜的视触觉传感器应力加载装置，核心由 x 轴 /z 轴位移台、圆锥形末端探针、钢制底板（带矩形开口与支撑柱）、压缩块、堵块及 4 个可调节 L 型支撑块组成；技术优势在于解决传统装置体积大、操作复杂、无法配合光学显微镜且难测 Z 向形貌的问题，体积小、结构紧凑、操作简单，能适配不同大小传感元件，可直接与超景深光学显微镜联用观测 X-Z 平面形貌演化；性能上位移台精度可按需选择以匹配传感器测试要求，探针末端保证力作用点精确且避免自身形变导致位移偏差；产业化应用前景主要用于自组装表面失稳微纳褶皱结构（视触觉传感器接触模块）的应力加载测试，助力研究褶皱深度等 Z 向形貌演变规律，支撑视触觉传感器研发，适配微纳器件测试需求。