基于纳米梁开关阵列的背向出射激光雷达发射芯片
知识产权简介
一种基于纳米梁开关阵列的背向出射激光雷达发射芯片，该激光雷达发射芯片包括纳米梁开关路由网络、芯片正面的金属反射层及芯片背面的超构表面透镜。输入光信号进入纳米梁开关路由网络的纳米梁开关支路后，由特定的纳米梁开关单元路由至对应的纳米梁发射支路，由特定的纳米梁发射单元向自由空间发射，正面金属反射层将向上辐射的光波向下反射，最终所有向下发射的光波通过背面超构表面透镜向指定方向准直发射。本发明设计的纳米梁开关单元利用模式转换可以实现定向传输，设计的纳米梁发射单元可以同时实现开关选通和垂直发射的功能，基于此组成的纳米梁开关路由网络具有尺寸小、功耗低、可扩展性强等优势。硅基超构表面透镜具有设计自由度高、CMOS工艺兼容性强、表面平整度高等优势，可以作为傅里叶变换透镜实现高精度、大范围的波束扫描，为大规模制造硅基集成激光雷达发射芯片提供一种优越的技术路径。