聚焦离子束悬浮微结构加工方法、其系统及悬浮微结构

• 国民经济行业：科学研究和技术服务业／研究和试验发展／自然科学研究和试验发展
• 学科类别：电子、通信与自动控制技术／半导体技术／半导体加工技术
• 权利人：上海交大平湖智能光电研究院

知识产权简介

悬浮微结构通常采用半导体工艺实现，通过光刻、刻蚀工艺进行图形加工，通过湿法或干法刻蚀进行悬浮结构释放。整个工艺流程复杂，成品率往往受到工艺限制，特别是悬浮结构中图形在悬空结构边缘的位置难以控制，对于横跨悬空及非悬空部分的图形加工更是难以实现。 聚焦离子束技术（FIB，Focused Ion beam）是通过将离子源产生的离子束经过加速后聚焦作用于样品表面，可以产生二次电子信号图像，也可以用于微纳加工或结合其他反应进行沉积。聚焦离子束技术自产生以来就引起了人们的广泛关注，在芯片电路修改、截面分析、透射电镜样品制样、材料分析等领域得到了广泛的应用。近年来，聚焦离子束在微纳加工领域中的应用也逐渐发展起来，其无需进行版图加工、涂胶、显影等步骤，具有工艺流程简单，加工方便的优点，在小面积微纳结构加工中具有一定的优势。