一种基于四维扫描电子衍射的纳米尺度测温方法
知识产权简介
本发明属于热管理领域，具体涉及一种基于四维扫描电子衍射的纳米尺度测温方法。
转化前景
实现纳米级空间分辨率的非接触式测温，突破光学衍射极限。适用于单元素（如石墨烯）和多元素材料（如α-Si3N4），通过结构因子校正或衍射强度比值法解决复杂材料测温难题。 可直接集成于现有透射电镜系统，如 Thermo Scientific Spectra 300，用于半导体器件、异质界面等纳米器件的热管理分析。
本发明属于热管理领域，具体涉及一种基于四维扫描电子衍射的纳米尺度测温方法。
实现纳米级空间分辨率的非接触式测温，突破光学衍射极限。适用于单元素（如石墨烯）和多元素材料（如α-Si3N4），通过结构因子校正或衍射强度比值法解决复杂材料测温难题。 可直接集成于现有透射电镜系统，如 Thermo Scientific Spectra 300，用于半导体器件、异质界面等纳米器件的热管理分析。