磷烯材料及处理方法、器件结构及制备方法及制造设备
知识产权简介
紫磷是一种新兴的二维层状半导体，具有高的载流子迁移率和独特的光电性能，迄今为止已报道出了诸多创新的异质结构和光电器件。目前，可以通过机械剥离方法从块状紫磷晶体中得到不同原子层厚度的二维紫磷纳米片。然而，少层紫磷纳米片暴露在空气中会迅速发生氧化并形成粗糙的表面，严重损害材料的内在性能和异质结界面质量。本发明的目的在于提供一种简便、可控和批量化处理的等离子体处理方法可以使二维紫磷纳米片兼具高的空气稳定性和原子级平坦的表面。
紫磷是一种新兴的二维层状半导体，具有高的载流子迁移率和独特的光电性能，迄今为止已报道出了诸多创新的异质结构和光电器件。目前，可以通过机械剥离方法从块状紫磷晶体中得到不同原子层厚度的二维紫磷纳米片。然而，少层紫磷纳米片暴露在空气中会迅速发生氧化并形成粗糙的表面，严重损害材料的内在性能和异质结界面质量。本发明的目的在于提供一种简便、可控和批量化处理的等离子体处理方法可以使二维紫磷纳米片兼具高的空气稳定性和原子级平坦的表面。