高温氧化薄膜生长应力测定装置
知识产权简介
一种高温氧化薄膜生长应力测定装置，它除了包 括有高温X射线衍射仪温台(1)，通气管(3)，真空系 统(4)外还包括有氧气充气管(5)，加热炉(6)，阀(7) 和氧气瓶(8)。采用本实用新型可准确地测定金属材 料试样在高温下形成的氧化薄膜的生长应力。
一种高温氧化薄膜生长应力测定装置，它除了包 括有高温X射线衍射仪温台(1)，通气管(3)，真空系 统(4)外还包括有氧气充气管(5)，加热炉(6)，阀(7) 和氧气瓶(8)。采用本实用新型可准确地测定金属材 料试样在高温下形成的氧化薄膜的生长应力。