用于制备燃料电池金属双极板非晶碳膜磁控溅射连续线
知识产权简介
本发明涉及一种用于制备燃料电池金属双极板非晶碳膜磁控溅射连续线，包括：多腔室系统：包括依次串联并组成整体的四个腔室：清洗加热腔室、第一镀膜腔室、第二镀膜腔室和后续处理腔室，各个腔室之间相互贯通；工件架：包括至少一个用于固定安置待处理金属双极板的金属双极板挂具；传送系统：包括用于将所述工件架依次送入/送出所述腔室的传送机构；抽气系统：包括独立设置在各个腔室的抽气机构，用于控制各个腔室的真空度；可开闭的隔离阀系统：设置在每相邻的两个腔室之间的过渡部分，并与所述腔室密封配合。与现有技术相比，本发明制备金属双极板非晶碳膜生产效率高、薄膜质量好、成本低，对加快燃料电池产业化发展具有重要意义。