离子敏感薄膜晶体管及生物传感芯片

• 国民经济行业：农、林、牧、渔业／农、林、牧、渔服务业／畜牧服务业
• 学科类别：电子、通信与自动控制技术／半导体技术／半导体器件与技术
• 权利人：上海交通大学

知识产权简介

本申请实施例公开了一种基于新型的双栅离子敏感薄膜晶体管的生物芯片，该生物芯片包括：晶体管芯片和微流控通道；所述双栅晶体管结构包括：顶栅结构晶体管与底栅结构晶体管；所述底栅结构晶体管，作为参考器件；所述顶栅结构晶体管，作为离子敏感元件。本申请实例所公开的生物芯片，其主要特征在于使用ESL作为顶栅介质，代替传统技术中ESL/PA作为顶栅介质，提高顶栅/底栅电容耦合比，显著提高离子敏感场效应晶体管对离子响应的灵敏度，并提高器件良率。通过该实施例方案，实现了对环介导等温扩增过程中pH变化的实时、高灵敏监测，从而实现对低浓度目标核酸序列快速分析。本发明工作电压低、灵敏度高、成本低、检测目标多样性，有望成为兼容多种生物检测的通用传感平台。