基于氘代聚苯乙烯的CD 平面靶及其加工方法

• 国民经济行业：科学研究和技术服务业／研究和试验发展／自然科学研究和试验发展
• 学科类别：工程与技术科学基础学科／工程与技术科学基础学科其他学科
• 权利人：上海交通大学

知识产权简介

本发明提供了一种基于合成氘代聚苯乙烯的CD平面靶制备及其激光加工方法，通过集热式磁力搅拌器将溶于氟苯的氘代聚苯乙烯进行充分的搅拌，并利用超声和水浴加热的方式降低氘代聚苯乙烯的颗粒度，并通过升高温度使氘代聚苯乙烯能够溶解最高达 30%质量分数的溶液。再利用匀胶机高速旋转实现溶液的均匀平铺，加热可以得到CD平面固体材料。并且通过调控其溶解的浓度、转速以及旋涂的次数可控制 CD 平面材料的厚度在短时间内实现较厚CD平面材料的制备。最后，在得到CD平面材料后利用高精度的飞秒激光阵列式加工切割，可以避免传统切割加工办法普遍存在的边缘碳化及毛刺问题。同时，利用阵列化高精度的飞秒激光加工可以最终获得高精度尺寸、批量化、大厚度的CD平面靶，并实现批量化制备。