一种铪基薄膜晶体结构的调控方法

  • 国民经济行业：科学研究和技术服务业／研究和试验发展／自然科学研究和试验发展
  • 学科类别：信息科学与系统科学／信息科学与系统科学基础学科／信息科学与系统科学基础学科其他学科
  • 权利人：上海交通大学

知识产权简介

一种通过协同控制温度和薄膜应力从而调控铪基薄膜晶体结构的方法，包括： 制备特定材料衬底； 在衬底上制备不同参数铪基薄膜，从而改变薄膜应力； 对结构进行热退火，依赖于铪基薄膜的温度-应力相图，通过控制退火温度进而调控铪基薄膜的晶体结构

基本信息

权利人 上海交通大学
知识产权类型 专利
意向合作模式 入股,许可,转让
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专利 科学研究和技术服务业／研究和试验发展／自然科学研究和试验发展