一种半导体器件结构及其制备方法和应用
知识产权简介
本专利利用相变材料GST来动态调控光的辐射。GST是一种相变材料，当从晶态切换到非晶态时，GST的折射率有很大的改变。利用这一性质，在硅基底上下各沉积一层GST，当GST为非晶态时，光只能从一个方向辐射；当GST为晶态时，光只能从另一个方向辐射。通过外部激励改变GST的状态，从而实现电磁波辐射方向的动态切换。
本专利利用相变材料GST来动态调控光的辐射。GST是一种相变材料，当从晶态切换到非晶态时，GST的折射率有很大的改变。利用这一性质，在硅基底上下各沉积一层GST，当GST为非晶态时，光只能从一个方向辐射；当GST为晶态时，光只能从另一个方向辐射。通过外部激励改变GST的状态，从而实现电磁波辐射方向的动态切换。