具有时空分辨率的TDDB可靠性分析与击穿定位方法和系统
知识产权简介
本发明提供了一种具有时空分辨率的TDDB可靠性分析与击穿定位方法和系统，本发明提出了联合使用离子渗流理论、最小电阻路径分析和动态最大瓶颈路径评估模型，以提高具有时空分辨率的TDDB可靠性分析与击穿定位方法的准确性。本发明的算法由于该只对有限个快照重复执行，计算成本远低于漂移-扩散模型的FDM模拟。本发明的算法能实时监控不同位置TDDB损伤程度，并能识别失效热点，预测实际TDDB寿命，具有较好的通用性。
转化前景
本技术方案的核心在于结合先进的离子渗流理论、最小电阻路径分析和动态最大瓶颈路径评估方法，在时间和空间维度上评估BEOL互连中的TDDB特性。其替代方案包括修改最小电阻路径分析算法，或用其他优化方法来替代最小电阻路径的计算。 本领域技术人员知道，除了以纯计算机可读程序代码方式实现本发明提供的系统、装置及其各个模块以外，完全可以通过将方法步骤进行逻辑编程来使得本发明提供的系统、装置及其各个模块以逻辑门、开关、专用集成电路、可编程逻辑控制器以及嵌入式微控制器等的形式来实现相同程序。所以，本发明提供的系统、装置及其各个模块可以被认为是一种硬件部件，而对其内包括的用于实现各种程序的模块也可以视为硬件部件内的结构；也可以将用于实现各种功能的模块视为既可以是实现方法的软件程序又可以是硬件部件内的结构。