无限制视场下的全焦点三维成像及检测方法与装置
知识产权简介
本发明涉及一种无限制视场下的全焦点三维成像及检测方法和装置，包括将待测工件放置在精密运动驱动模组上，由精密运动驱动模组带动沿规划路径运动；在待测工件的上方倾斜安装显微成像模组；对模组采集的多帧工件图像进行时空耦合和校准，随后对帧间的位移进行动态建模，确定各帧工件图像的总配准位移，以进行工件图像的扩充和配准；扩充后进行未赋值区域的补全，得到完整图像序列；对完整图像序列中的每一帧图像进行清晰度评价，以清晰度评价结果作为权重进行图像融合，得到覆盖工件全表面的全清晰图像，并在完整图像序列中确定最优帧索引以确定工件高度数据进行工件表面三维形貌重建。与现有技术相比，本发明实现了在线检测的高效率与三维形貌的高精度重建。
转化前景
本发明通过在样品连续传输过程中倾斜安装显微成像模组、建立动态位移补偿模型并采用全焦点融合算法，创新性地实现了运动状态下样品的三维高精度在线检测。该方法突破传统全焦点技术需静态采样的限制，消除因启停造成的定位误差与时间损耗，显著提升在线检测效率与稳定性。在航空航天部件微结构监测、汽车精密零件质检、半导体晶圆缺陷识别、激光加工实时质量评估等高端制造领域具有重要应用价值，为推动智能制造的在线化、高精度化发展提供了关键技术支撑。