压电驱式微混合芯片
知识产权简介
一种微电子技术领域的压电驱动的微混合芯片，包括：密封盖层、通道层、压电控制器，密封盖层与通道层通过离子键合技术或者热键合技术密封在一起，密封盖层上侧设有三个压电控制器安装槽，压电控制器以粘帖方式嵌入密封盖层上侧的三个压电控制器安装槽内，通道层上设有循环流体通道。在密封盖层的下侧、压电控制器安装槽的投影位置，设有金属钛溅射区。本发明混合芯片结合了通道式混合器和微腔混合器的特点，使不同试剂间的扩散和主动对流得到加强，从而提升混合效率，可以广泛用于生物试剂、化学试剂浓度和组分的实时测定，对于预防医学、环境水源监控都具有很强的实用价值。